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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來(lái)自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

增強離子遷移譜氣體分析儀可提供達100 FWHM的分辨率，足以分辨異構體成分。SIMS的一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術(shù)通過(guò)電暈放電（CD）電離源提升了靈敏度。

智能離子遷移譜（SIMS）一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。

實(shí)時(shí)監測氣態(tài)分子污染物AMC 高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長(cháng)期高穩定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個(gè)機柜里。

滲透腔標準氣體發(fā)生器 ＤＫ　１１０－ＧＬ滲透加熱腔模型依據強大?又豐富的多任務(wù)功能?設計，可?于多種不同的裝置。操作者可以在ＤＫ　１１０－ＧＬ大容量?滲透腔中同時(shí)使?不同類(lèi)型和大小的滲透管。