AMC監測空氣分子污染物系統介紹：

醋酸、草酸 、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì )導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。

AMC監測空氣分子污染物系統產(chǎn)品優(yōu)勢：

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內部來(lái)自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會(huì )引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問(wèn)題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工

隨著(zhù)IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監測變得越來(lái)越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散，并且成份的增加，分子污染物來(lái)自多個(gè)源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設備裝置、操作人員等。

µ-VOC  系統意味著(zhù)潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問(wèn)題和減少污染問(wèn)題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級測量，提供早期A(yíng)MC監測和快速確定這些污染問(wèn)題的原因。