半導體潔凈室氣體分析監測系統介紹：

        醋酸、草酸 、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì )導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。

        無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監控污染物濃度并結合多級過(guò)濾器以及新風(fēng)系統來(lái)實(shí)現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產(chǎn)、預防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。

半導體潔凈室氣體分析監測系統亮點(diǎn)

一般特點(diǎn)

在線(xiàn)連續質(zhì)量監測全部自動(dòng)化系統

低濃度VOC監測

獨立分開(kāi)測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能。

工作原理

        GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴(lài)于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，*的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。