實(shí)時(shí)監測氣態(tài)分子污染物AMC

實(shí)時(shí)監測氣態(tài)分子污染物AMC

檢測需求

潔凈室需要控制污染物水平。準確、可靠和低維護成本的潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC控制可以顯著(zhù)的提升產(chǎn)能。

可靠的監測

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長(cháng)期高穩定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個(gè)機柜里。

技術(shù)應用

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無(wú)時(shí)延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長(cháng)達幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

優(yōu)勢

1. 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

2. 快速的響應時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

3. 獨立運行系統，內置氣體交換泵

4. 無(wú)耗材或者化學(xué)試劑

5. 短光程，單點(diǎn)校準也可達到業(yè)內先的動(dòng)態(tài)量程

6. 直接吸收測量，無(wú)漂移

7. 校準間隔長(cháng)（可達數年）

8.高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點(diǎn)

1. 高選擇性的監測痕量水平的CF4

2. 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

3. 響應時(shí)間可設置，從5秒到3分鐘

4. 動(dòng)態(tài)范圍寬，運行穩定

5. 無(wú)耗材

6. 低樣品量（幾ml）

7. 內置氣體交換系統

8. 重新校準間隔長(cháng)（幾個(gè)月）

9. 直觀(guān)的用戶(hù)界面

10. 內置顯示屏，可數字式或者圖線(xiàn)式顯示結果

11. 可通過(guò)局域網(wǎng)遠程操作

技術(shù)原理

1. 工作原理：紅外光聲光譜

2. 超靈敏zhuan利光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機懸臂梁傳感器，結合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀(guān)運動(dòng)

3. 光源：分布式反饋量子級聯(lián)激光

4. 樣品池溫度穩定于50℃

環(huán)境

1. 運行條件

2. 溫度范圍：0℃～+49℃

3. 濕度：無(wú)凝露

4. 壓力：750mbar～1050 mbar

5. 防塵/水等級：IP20(IEC 529)

6. 儲存條件

7. 溫度范圍：-20℃～+60℃

8. 樣品氣體條件

9. 溫度范圍：0℃～+49°C

10. 濕度：無(wú)凝露，溫度達35°C時(shí)最大相對濕度80%，溫度達49°C時(shí)線(xiàn)性下降至35%

11. 壓力：750 mbar～1050 mbar

12. 氣流：約1L/min

13. 顆粒物<1μm

通用

1. 19”3U外殼，適用于臺式或者機架固定安裝

2. 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便攜式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

3. 重量：約13 Kg（便攜式約15Kg）

4. 內置計算機，帶7”寬屏顯示器

5. 數據存儲：在最短采樣間隔連續監測的情況下，足夠存儲一年

6. 內部總氣路體積：30ml

7. 電源

8. 輸入電壓：90～264 VAC，47～63 Hz

9. 輸入功率：最大75W

10. 接口：以太接口，USB，可選RS485，RS232，電流輸出，電壓輸出，MODBUS和AK協(xié)議

11. DKG ONE-CF4可以通過(guò)智能手機，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF4（即將推出)遠程控制

測量參數

1. 響應時(shí)間：取決于用戶(hù)可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時(shí)間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等

2. 監測下限：小于0.1ppb

3. 動(dòng)態(tài)量程：大于5個(gè)數量級（檢測下限的100,000倍)

4. 重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%

5. 準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度

6. 溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環(huán)境溫度變化不會(huì )導致漂移

7. 壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會(huì )導致漂移

標準

1. 符合低電壓指令2014/35 / EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

機箱選項

單氣體分析

DKG ONE-CF4為用戶(hù)提供簡(jiǎn)潔直觀(guān)的用戶(hù)界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個(gè)旋轉按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預見(jiàn)泄漏區域的檢測。

移動(dòng)式整合方案

幾個(gè)DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個(gè)監測系統，移動(dòng)式平臺可以快速的移動(dòng)到不同的關(guān)鍵測點(diǎn)。