空氣分子污染物對于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素,會(huì )導致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標,通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制,實(shí)時(shí)監控污染物濃度并結合多級過(guò)濾器以及新風(fēng)系統來(lái)實(shí)現,持久監測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩定生產(chǎn)、預防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。
空氣分子污染物監測集成了多點(diǎn)監測系統,可依序將氣體抽送到分析儀或傳感器,并讀出測量結果。儀器基于腔增強吸收光譜技術(shù),極簡(jiǎn)使用、便捷操作,所有部件(包括內置真空泵、鍵盤(pán)、鼠標、顯示器等)幾分鐘內可開(kāi)始記錄數據,其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會(huì )對HCL、HF、NH3等測量構成交叉干擾。內置計算機可以存儲大量數據到內置硬盤(pán)上,可同過(guò)數字接口或者模擬接口傳輸數據,可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠程存儲或記錄數據,高質(zhì)量的數據庫,適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。
空氣分子污染物監測設備的工作原理:
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術(shù),這種技術(shù)依賴(lài)于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化,從而確定不同組份的濃度,吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。