檢測需求：

潔凈室需要控制污染物水平。準確、可靠和低維護成本的潔凈室氣態(tài)分?污染物AMC控制可以顯著(zhù)的提升產(chǎn)能。

可靠的監測：

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長(cháng)期高穩定性。

超靈敏光學(xué)懸臂梁麥克風(fēng)

技術(shù)應用：

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結合量?級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了?夠的靈敏度可以無(wú)時(shí)延的探測最微小濃度的CF4溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長(cháng)達幾個(gè)?甚?幾年，大大減低了總體持有成本。

優(yōu)勢：

準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

快速的響應時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

獨立運行系統，內置氣體交換泵

無(wú)耗材或者化學(xué)試劑

短光程，單點(diǎn)校準也可達到突出的動(dòng)態(tài)量程

直接吸收測量，無(wú)漂移

校準間隔長(cháng)（可達數年）

高選擇性，不受乙醛和其他VOC的?擾

特點(diǎn)：

高選擇性的監測痕量水平的CF4

檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

響應時(shí)間可設置，從3秒到3分鐘

動(dòng)態(tài)范圍寬，運行穩定

無(wú)耗材

低樣品量

內置氣體交換系統

重新校準間隔長(cháng)（幾個(gè)月）

直觀(guān)的用戶(hù)界面

內置顯示屏，可數字式或者圖線(xiàn)式顯示結果

可通過(guò)局域網(wǎng)遠程操作

機箱選項：

實(shí)時(shí)在線(xiàn)分析

DKG ONE-CF4為用戶(hù)提供簡(jiǎn)潔直觀(guān)的用戶(hù)界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個(gè)旋轉按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預見(jiàn)泄漏區域的檢測。

移動(dòng)式整合方案

幾個(gè)DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個(gè)監測系統。

技術(shù)原理

工作原理：紅外光聲光譜

超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機懸臂傳感器，結合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀(guān)運動(dòng)

光源：分布式反饋量子級聯(lián)激光

樣品池溫度穩定于50℃

檢測參數

響應時(shí)間：根據通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從3秒到3分鐘

檢測限：0.1ppb

動(dòng)態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)

重復性：小于1%的測量值，在工作條件標準濃 度下

準確度：取決于校準濃度標準氣體的精度，典型2～5 %

溫度穩定性：在溫度工作范圍內無(wú)影響

壓力穩定性：在壓力工作范圍內無(wú)影響

通用

19"3 U工業(yè)機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內置7"前置顯示器的嵌入式計算機

數據存儲容量足夠至少1年的連續監測

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過(guò)濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

DKG ONE-CF4可以通過(guò)智能手機，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF4（即將推出)遠程控制

環(huán)境

運行條件

     溫度范圍：0℃～+49℃

     濕度：無(wú)凝露

     壓力：750mbar～1050 mbar

     防塵/水等級：IP20(IEC 529)

儲存條件

     溫度范圍：-20℃～+60℃

樣品氣體條件

     溫度范圍：0℃～+49℃

     濕度：無(wú)凝露，溫度達35°C時(shí)最大相對濕度80%，  

               溫度達49°C時(shí)線(xiàn)性下降至35%

     壓力：750 mbar～1050 mbar

     氣流：約1L/min

     顆粒物<1μm

標準：

符合低電壓指令2014/35/EU，EMC指令2004/108/EC和ROHS 2指令2011/65/EU